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　　新进的前十大流通股东中，深圳同创锦绣资产管理有限公司-深圳南海成长湾科私募股权投资基金合伙企业(有限合伙)本期持有114.7万股，占流通股比例3.28%；中保投资有限责任公司-中国保险投资基金(有限合伙)本期持有59.41万股，占流通股比例1.7%；香港中央结算有限公司本期持有40.96万股，占流通股比例1.17%；厦门市惠友豪嘉股权投资合伙企业(有限合伙)本期持有31.99万股，占流通股比例0.91%；卢金莲本期持有25.09万股，占流通股比例0.72%；华夏上证科创板半导体材料设备主题ETF本期持有20.2万股，占流通股比例0.58%。